Skytech удалось преодолеть проблемы в разработке передового полупроводникового оборудования и разработать прибор для атомного осаждения (ALD), став первым тайваньским поставщиком оборудования, добившимся «массового производства» тонкопленочных решений ALD. Благодаря проверке и внедрению оборудования ALD компанией Epistar Skytech внесла свой вклад в усилия Epistar по продвижению коммерциализированных приложенийВЕЛтехнологии.
Компания Skytech, основанная в 2002 году, является крупным поставщиком критически важных полупроводниковых компонентов на Тайване. В 2017 году компания начала инвестировать в разработку ответственного оборудования для производства полупроводниковых устройств. В настоящее время Skytech предлагает несколько аппаратов собственной разработки, включая PVD-машину (NexdaTM), ALD-инструмент и порошковый ALD-инструмент (AtomilaTM), систему склеивания (Bondela Bonder), систему отслаивания (Catapulta Debonder), машину для лазерного подъема и робота для вафель. (Скивар).
Генеральный директор Skytech Вик Лин уточнил, что при поддержке Министерства экономики Тайваня компания разработала полный набор тонкопленочных решений ALD для производства светодиодов Mini / Micro. Оборудование, предоставленное для Epistar, имеет уникальную реакционную полость и регулируемую конструкцию подачи прекурсоров; изготовленная тонкая пленка ALD имеет превосходную однородность и воспроизводимость покрытия, желаемое сопротивление сквозному проникновению, высокий коэффициент пропускания и низкую дозу прекурсора.
Что касается более совершенного развития оборудования Micro LED, Лин указал, что экраны Micro LED состоят из мелких красных, зеленых и синих мелких пикселей, процесс изготовления которых может легко вызвать повреждение тонкой наноструктуры внутри и потерю силы света.
Чтобы решить эту проблему, Skytech разрабатывает технологию предварительной пассивации, чтобы восстановить структурные повреждения во время изготовления микросветодиода и вернуть интенсивность света к заводскому уровню или даже к более высокому уровню. Skytech тесно сотрудничает с различными поставщиками светодиодов.
